Đại học Quốc Gia Hà Nội

Phòng TN Công nghệ Nanô

Send to friendPDF version

1. Giới thiệu chung
Phòng Thí nghiệm Công nghệ micro và nano (PTN CNM&N) được thành lập theo Quyết định số 87/QĐ-TCHC ngày 27/2/2008 của Hiệu trưởng trường Đại học Công nghệ (ĐHCN), là một trong hai PTN mục tiêu trực thuộc trường ĐHCN. PTN được xây dựng trên cơ sở Dự án "Tăng cường năng lực nghiên cứu triển khai vật liệu và linh kiện theo công nghệ micro và nano" đã được Đại học Quốc gia Hà Nội phê duyệt thực hiện trong bốn năm (2006-2009)

 2. Nhiệm vụ
Phòng Thí nghiệm Công nghệ micro và nano có nhiệm vụ chính:

- Tiếp nhận và triển khai Dự án "Tăng cường năng lực nghiên cứu triển khai vật liệu và linh kiện theo công nghệ micro và nano", xây dựng nhóm nghiên cứu mạnh về "Vật liệu và linh kiện micro - nano đa chức năng cho kỹ thuật điện tử - spin", góp phần hình thành một trung tâm nghiên cứu xuất sắc (Center of Excellence), có sắc thái riêng của trường ĐHCN.

- Tổ chức xây dựng và thực hiện mô hình nghiên cứu liên ngành, tích hợp đào tạo và nghiên cứu khoa học, thực hiện có hiệu quả việc đào tạo nguồn nhân lực chất lượng cao cho các lĩnh vực công nghệ cao mang tính liên ngành, tạo ra các kết quả, sản phẩm khoa học-công nghệ có giá trị khoa học và thực tiễn.

Bên cạnh đó, xuất phát từ sứ mệnh của trường ĐHCN trong việc đào tạo nguồn nhân lực có chất lượng cao, phấn đấu đạt trình độ tiên tiến trong khu vực, PTN CNM&N có sự hợp tác chặt chẽ với Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nano (Khoa VLKT & CNNN) thuộc trường ĐHCN trong nghiên cứu khoa học công nghệ và đào tạo cử nhân ngành Vật lý kỹ thuật, thạc sĩ và tiến sĩ chuyên ngành Vật liệu và linh kiện nano.

3. Tổ chức
3.1. Đội ngũ cán bộ

- Trưởng PTN: GS. TS. Nguyễn Hữu Đức
Phó trưởng phòng PTN: TS. Phạm Đức Thắng
- Cán bộ: 14, trong đó có 3 GS., 7 TS., 3 ThS., 1 CN.
- Nghiên cứu sinh và học viên cao học: 10.

3.2. Cơ cấu tổ chức, cơ sở vật chất

PTN CNM&N có 2 PTN vệ tinh:
- PTN Công nghệ chế tạo vật liệu và linh kiện micro-nano:
Công nghệ chế tạo màng mỏng (đơn và đa lớp): thiết bị phún xạ (sputtering systems FL-500, BOC-Ewards, Anh and 2000-F, AJA International Inc., Mỹ), thiết bị laser xung (pulsed laser deposition system Pioneer 120 PLD, Neocera, Mỹ), thiết bị quay phủ (spin coater WS-400B-6NPP, Laurell, Anh).

Phòng sạch (clean room): thiết bị định vị mask (mask aligner MJB4, Suss MicroTec, Đức), hệ thống ăn mòn ướt và tủ hút (wet bench and fume hood, SPM, Ý), các kính hiển vi vật lý và sinh học (optical and biological microscopes, Carl Zeiss Inc., Đức), thiết bị hàn dây (multipurpose digital thermosonic wire bonder 626, Hybond Inc., Mỹ), thiết bị hàn phiến (multipurpose bonding platform Lambda, Fineplacer, Mỹ).

- PTN Nghiên cứu các tính chất của vật liệu và linh kiện micro-nano:
Hiển vi lực nguyên tử/lực từ (AFM/MFM, ND-MTD, Nga), thiết bị nhiễu xạ tia X (XRD Advance 8, Bruker, Đức), từ kế mẫu rung (VSM 7404, Lake Shore, Mỹ), các hệ đo điện trở/từ điện trở và hiệu ứng Hall (MR/GMR and Hall effect measurement systems), hệ đo từ điên (ME measurement system), hệ đo tính chất sắt điện (ferrolelectric test system Precision LC10, Radiant, Mỹ), hệ đo tính chất bán dẫn (semiconductor analyzer system Keithley 4200SCS/F, Keithley, Mỹ).

 

Nano

4. Hướng nghiên cứu
Các nghiên cứu đang được triển khai tại PTN gồm có:
- Nghiên cứu các quy trình công nghệ để chế tạo các vật liệu chức năng mới cấu trúc micro-nano:

+ Vật liệu tổ hợp từ giảo/áp điện, từ điện trở/áp điện, van-spin/áp điện.
+ Vật liệu tổ hợp phát quang hữu cơ, vật dẫn ion và pin ion rắn, vật liệu quang xúc tác nanô, pin quang điện hoá nanô và pin mặt trời polymer.
+ Vật liệu dạng hạt được bọc và chức năng hóa bề mặt.

- Thiết kế, chế tạo thử và nghiên cứu các đặc trưng của các cảm biến và linh kiện trên cơ sở các vật liệu chế tạo được: đo từ trường siêu nhỏ, ứng suất/áp suất, độ dịch chuyển/dao động; các đầu ghi và đọc thông tin, bộ nhớ không tự xóa MERAM; biochip phát hiện nhanh các phần tử sinh học và vật liệu kháng khuẩn; các hệ vi cơ điện tử và vi chấp hành (MEMS and NEMS); OLED, pin thế hệ mới.

- Mô phỏng và mô hình hóa nhằm tối ưu hóa tính chất của các vật liệu.

5. Giải thưởng và thành tích nghiên cứu khoa học

- Giải thưởng Dương Chấn Ninh của Hội Vật lý Châu Á-Thái Bình Dương 2004: GS. Nguyễn Hữu Đức.
- Giải thưởng công trình khoa học tiêu biểu của ĐHQGHN năm 2004: nhóm GS. Nguyễn Hữu Đức.
- Giải thưởng Khoa học-Công nghệ của ĐHQGHN 5 năm lần thứ nhất (2001-2006): nhóm GS. Nguyễn Phú Thùy.
- Giải thưởng Vì lợi ích cộng đồng của Cuộc thi Nhân tài Đất Việt năm 2007: nhóm GS. Nguyễn Phú Thùy.
- 02 giải thưởng Elsevier Scopus Awards cho các nhà khoa học có chỉ số h (h-index) cao: GS. Nguyễn Phú Thùy và GS. Nguyễn Hữu Đức.

6. Hợp tác
6.1 Trong nước

- Các PTN của Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nanô, PTN Các hệ thống tích hợp thông minh (SIS), PTN Vi cơ điện tử và vi hệ thống, ... của trường ĐHCN.

- Các cơ sở đào tạo và nghiên cứu khác của các trường ĐH thành viên thuộc ĐHQGHN như Trung tâm khoa học vật liệu (Khoa Vật lý, ĐHKHTN), PTN Vật liệu (Khoa Hóa học, ĐHKHTN), Viện ITIMS (ĐHBKHN).

- PTN Công nghệ nano, ĐHQG thành phố Hồ Chí Minh.

- Các cơ sở nghiên cứu khác của Trung tâm Khoa học tự nhiên và Công nghệ Việt Nam: Viện Khoa học Vật liệu, Viện Vật lý-Điện tử, Viện Hóa học, Viện Công nghệ sinh học.

6.2 Quốc tế
- Trường ĐH Paris-Sud, Lyon, Nantes, Grenoble, viện Néel (CH Pháp); Trường ĐH Twente, Amsterdam, Delft (Hà Lan).

- Trường ĐH Osaka, Tohoku và JAIST (Nhật Bản); Trường ĐH Pusan, Seoul, ĐHQG Chungnam (Hàn Quốc); Trường ĐHQG Singapore (NUS), ĐH Công nghệ Nangyang (NTU) (Singapore).